志圣智能无尘洁净隧道炉采用模块化不锈钢腔体设计，配备层流风速0.45±0.05m/s的垂直送风系统，实现ISO 14644-1 Class 5级洁净环境（≥0.5μm颗粒≤100颗/m3）。其独创的六段温区独立控制技术（温差±1℃）配合氮气保护装置（氧含量≤50ppm），可满足Mini LED固晶胶水从80℃预烘到180℃终固的全流程无氧化处理。设备集成视觉定位纠偏系统（±0.1mm）与智能风压平衡模块，使FPC柔性电路板在连续式烘烤中变形率低于0.3%。通过MES系统对接实现工艺参数追溯（符合GAMP5规范），已广泛应用于车载显示模组与医疗耗材生产，使产品良率提升至99.7%。
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